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美國METONE標准粒子發生裝置255

基本信息
産地:美國
訂貨量:≥1台
價格:請咨詢在線客服
型號:255
品牌:贝克曼 BECKMAN

美國METONE標准粒子發生裝置255 校正的基本步骤

現假設對一台常見的 Metone227B 作校正

•首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別,其測試原理一樣,但 Metone3413 流速爲 1CFM (立方英尺 / 分鍾),而 Metone227B 則爲 0.1CFM 。

•首先,請將潔淨台開機,工作半小時,其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ,讓其預熱半小時。

•准備好 255 的取樣器管,並搭接好其所有氣體管路。

•將配好的標准液(如 0.301um )放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。

•設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數

•取樣時間都設置爲 00 : 01 : 00

•取樣次數都設置 03

•取樣模式都設置爲 Auto

•間隔時間都設置爲 00 : 00 : 05

•讀數模式都設置爲 Cumulative

注:以上設置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。

•此時,打開 255 電源,調節脫原子氣體閥和幹燥氣體閥,在調至噴嘴閥處呈氣霧出現,幹燥氣體流速計約 60SCFH 時後,保持其工作狀態。

•此時,讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作,看其三次的平均結果,若在 20% 以內,視爲合格。

•拆下脫原子瓶,重新滴入其它標准粒子,重複該測試。

•以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。

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