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千級淨化車間標准

要了解千級潔淨室,我們先來了解“無塵”這個概念。按照國際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標准的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標准中符合灰塵標准的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會産生非常大的負面影響,所以在光學構造産品的生産上,無塵是必然的要求。

潔淨度

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標准的A級。目前應用在芯片級生産加工的無塵標准對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生産上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。

壓差

对于大部分净化无尘车间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力;潔淨度级别高的空间的压力要高于相邻的潔淨度级别低的空间的压力;相通洁净室之间的门要开向潔淨度级别高的房间。

壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。

溫濕度

常規是溫度22±2度,濕度55±5%。

 

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