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萬級淨化車間標准

世界各国均有自定规格,但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。

潔淨度

潔淨度10000级cleanliness class 10000(P2万级实验室即ISO7级)即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

壓差及溫濕度控制

溫度:幹盤管系統控制。

濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。

檢測標准

氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是爲了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。

室内潔淨度的检测:潔淨度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气潔淨度级别,可采用粒子計數器检测。

自净时间的检测:通过确定自净时间,查明洁净室内部发生污染时恢复其原有潔淨度的能力。

照度的檢測:照度檢測的目的是爲了判明潔淨室的照度水平和照度的均勻性。

振動的檢測:振動檢測的目的是爲了判明無塵室各表明的振動幅度。

溫、濕度的檢測:溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風溫度。

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